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The study of high temperature annealing of a-SiC : H films 会议论文
ADVANCED MATERIALS FORUM III丛书标题: MATERIALS SCIENCE FORUM, Aveiro, PORTUGAL, MAR 20-23, 2005
作者:  Zhang, S;  Hu, Z;  Raniero, L;  Liao, X;  Ferreira, I;  Fortunato, E;  Vilarinho, P;  Perreira, L;  Martins, R;  Zhang, S, Univ Nova Lisboa, Fac Ciencias & Tecnol, Dept Ciencia Mat, Campus Caparica, P-2829516 Caparica, Portugal. 电子邮箱地址: sz@uninova.pt
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Silicon Carbide  High Temperature Annealing  Thin Film  Silicon  Pecvd