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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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期刊论文 [1]
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2012 [1]
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发表日期：2012
出处：MICROELECTRONIC ENGINEERING
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期刊论文
作者:
Peng, YS
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Xu, B
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Ye, XL
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Jin, P
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Wang, ZG
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提交时间：2013/03/17
