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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Deng QW; Wang XL; Xiao HL; Wang CM; Yin HB; Chen H; Hou QF; Lin DF; Li JM; Wang ZG; Hou X Adobe PDF(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1526/491  |  提交时间:2011/07/07 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Deng QW; Wang XL; Yang CB; Xiao HL; Wang CM; Yin HB; Hou QF; Li JM; Wang ZG; Hou X; Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn Adobe PDF(459Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2271/623  |  提交时间:2011/07/05 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Zhang XB; Wang XL; Xiao HL; Yang CB; Hou QF; Yin HB; Chen H; Wang ZG; Zhang, XB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. soffeezxb@163.com Adobe PDF(606Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2005/513  |  提交时间:2011/07/05 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Deng QW; Wang XL; Yang CB; Xiao HL; Wang CM; Yin HB; Hou QF; Bi Y; Li JM; Wang ZG; Hou X; Deng, QW, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. daven@semi.ac.cn Adobe PDF(1060Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2207/481  |  提交时间:2011/07/05 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 殷海波; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1572/239  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1520/254  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1510/258  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1651/273  |  提交时间:2011/08/31 |
| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(427Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1570/260  |  提交时间:2011/08/31 |