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ZnO体单晶的Sb离子注入掺杂及退火激活方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-09-26
发明人:  谢辉;  赵有文
Adobe PDF(376Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：709/87  |  提交时间：2014/10/31