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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Zhang XB; Wang XL; Xiao HL; Yang CB; Hou QF; Yin HB; Chen H; Wang ZG; Zhang, XB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Ctr Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. soffeezxb@163.com Adobe PDF(606Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2005/513  |  提交时间:2011/07/05 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Yin, Haibo; Wang, Xiaoliang; Ran, Junxue; Hu, Guoxin; Zhang, Lu; Xiao, Hongling; Li, Jing; Li, Jinmin; Yin, H.(hbyin@semi.ac.cn) Adobe PDF(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1045/232  |  提交时间:2012/06/14 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 张明兰; 杨瑞霞; 王晓亮; 胡国新; 高志 Adobe PDF(244Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1925/845  |  提交时间:2011/08/16 |
| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 张明兰; 王晓亮; 杨瑞霞; 胡国新 Adobe PDF(364Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1614/535  |  提交时间:2011/08/16 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1350/177  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 殷海波; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1413/239  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1412/254  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1421/258  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1550/273  |  提交时间:2011/08/31 |
| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(427Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1457/260  |  提交时间:2011/08/31 |