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作者:  Cao Q (Cao Quan);  Ma ZH (Ma Zhi-Hua);  Xue CL (Xue Chun-Lai);  Zuo YH (Zuo Yu-Hua);  Wang QM (Wang Qi-Ming)
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共掺杂的硅基杂质中间带材料的制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-09-09, 2012-09-09, 2012-09-09
发明人:  马志华;  左玉华;  薛春来;  成步文;  王启明;  郑世雄
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