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一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-17, 公开日期: 3998
发明人:  李文兵;  韩 勤;  秦 龙;  杨晓红;  倪海乔;  杜 云;  朱 彬;  鞠研玲
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhu NH;  Li W;  Wang LX;  Chen SF;  Ke JH;  Zhang YL;  Wen JM;  Liu Y;  Wang X;  Yan HQ;  Xie L;  Zhu NH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoclect Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: nhzhu@semi.ac.cn;  liwei05@semi.ac.cn;  lxwang@semi.ac.cn;  sfchen@semi.ac.cn;  jhke@semi.ac.cn;  ylzhang@semi.ac.cn;  jmwen@semi.ac.cn;  yliu@semi.ac.cn;  wxin@semi.ac.cn;  Xiel@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  鞠研玲;  杨晓红;  韩勤;  杜云;  倪海桥;  黄社松;  王鹏飞;  贺继方;  牛智川
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