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中国科学院半导体研究所 35 半导体超晶格国家重点实验室 10 中科院半导体材料科学重点实验室 8
光电子研究发展中心 7 中科院半导体照明研发中心 4 半导体集成技术工程研究中心 3
中国科学院半导体研究所(2009年前) 1 半导体材料科学中心 1 纳米光电子实验室 1