一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置
孙国胜; 王雷; 赵万顺; 李家业; 赵永梅; 刘兴昉
2008-01-02
公开日期2009-06-04
专利类型实用新型
申请日期2007-02-07
语种中文
申请号200720103516
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3939
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
孙国胜,王雷,赵万顺,等. 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置[P]. 2008-01-02.
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