| 双环结构微纳生物传感器及其制作方法; 双环结构微纳生物传感器及其制作方法 | |
苏保青; 王春霞; 阚强; 李俊华; 解意洋 ; 王真真; 陈弘达
| |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 一种双环结构的微纳生物传感器,包括：一SOI基片,该SOI基片的顶层为顶层硅；一双环结构,该双环结构形成于SOI基片的顶层硅上；一输入波导和一输出波导,该输入波导和输出波导位于双环结构的两侧,并形成于SOI基片的顶层硅上；一U型微流通道,该U型微流通道扣置键合在双环结构上。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201110100110.1 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23421 |
| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏保青,王春霞,阚强,等. 双环结构微纳生物传感器及其制作方法, 双环结构微纳生物传感器及其制作方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 双环结构微纳生物传感器及其制作方法.pd（350KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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