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Ⅲ族氮化物材料热壁化学气相沉积制备研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
Authors:  牛慧丹
Adobe PDF(6073Kb)  |  Favorite  |  View/Download:403/1  |  Submit date:2023/07/03