中国科学院半导体研究所机构知识库(SEMI OpenIR): 检索

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	无权访问的条目期刊论文作者: 王勇刚; 马骁宇; 付圣贵; 范万德; 李强; 袁树忠; 董孝义; 宋晏蓉; 张志刚 Adobe PDF(466Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：875/277 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 顾诠; 何杰; 陈维德; 许振嘉; 谢小龙; 梁建军; 马智训; 廖显伯 Adobe PDF(174Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：977/241 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 陈维德; 李秀琼; 段俐宏; 谢小龙 Adobe PDF(254Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：689/153 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 陈维德; 谢小龙; 崔玉德; 段俐宏; 许振嘉 Adobe PDF(378Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：834/211 \| 提交时间：2010/11/23
	无权访问的条目期刊论文作者: 生卫东; 刘宏伟; 宁继平; 姚建铨; 肖建伟 Adobe PDF(271Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：709/200 \| 提交时间：2010/11/23

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