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| 采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-04-03, 2013-04-03
发明人: 康中波; 司朝伟; 宁瑾; 韩国威
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| 基于寄生电容调节的高精度温度补偿MEMS振荡器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18
发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东
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| 采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-18
发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 刘晓东
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| 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22
发明人: 钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华
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| 调节电容式MEMS陀螺仪检测端谐振频率的电路和方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-06-05
发明人: 韩国威; 司朝伟; 钟卫威
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| 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人: 杨健; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 梁秀琴
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| 环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
发明人: 张萌; 宁瑾; 司朝伟; 韩国威; 赵永梅
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| 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 杨富华
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| 采用晶圆级封装的MEMS器件 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人: 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 杨富华
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| 在衬底上制备多级台阶的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人: 杨健; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 赵永梅; 梁秀琴; 王晓东; 杨富华
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