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半导体光电子功能材料集成技术平台 成果
2006
主要完成人:  王圩;  朱红亮;  赵玲娟;  周帆;  潘教青;  王宝军;  边静
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电子功能材料  
电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质分析技术及质量监控 成果
1991
主要完成人:  闻瑞梅;  李希云;  王铁龄;  王桂英
收藏  |  浏览/下载：1422/0  |  提交时间：2010/04/13
电子级气体  
八种气体中28种杂质全分析技术及质量监控 成果
1990
主要完成人:  闻瑞梅;  李希云;  王铁龄;  王桂英
收藏  |  浏览/下载：1064/0  |  提交时间：2010/04/13