|
Selected(0)Clear
Items/Page: Sort: |
| 具有超薄碳化硅中间层的硅基可协变衬底及制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-08-15, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 杨少延; 杨霏; 李成明 ; 范海波; 陈涌海; 刘志凯; 王占国
 Adobe PDF(1107Kb) |  Favorite | View/Download：1395/193 | Submit date：2009/06/11 |
| 磁控溅射仪衬底固定夹具 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-05-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 王鹏; 陈诺夫; 尹志岗; 杨霏
Adobe PDF(452Kb) | Favorite | View/Download：1178/153 | Submit date：2009/06/11 |
| 在硅衬底上磁控溅射制备铁磁性锰硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-12-27, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 刘力锋; 陈诺夫; 尹志岗; 杨霏; 柴春林
Adobe PDF(291Kb) | Favorite | View/Download：1577/202 | Submit date：2009/06/11 |
| 用磁控溅射法在镓砷衬底上外延生长铟砷锑薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-11-22, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 彭长涛; 陈诺夫; 吴金良; 尹志冈; 杨霏
Adobe PDF(349Kb) | Favorite | View/Download：1397/150 | Submit date：2009/06/11 |
| 在硅衬底上采用磁控溅射法制备氮化铝材料的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-08-30, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 杨霏; 陈诺夫
Adobe PDF(259Kb) | Favorite | View/Download：1197/175 | Submit date：2009/06/11 |
| 一种制备三元高K栅介质材料的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 李艳丽; 陈诺夫; 刘立峰; 尹志刚; 杨菲; 柴春林
Adobe PDF(375Kb) | Favorite | View/Download：1172/169 | Submit date：2009/06/11 |
| 在硅衬底上生长碳化硅\氮化镓材料的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-01-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 陈诺夫; 杨霏
Adobe PDF(291Kb) | Favorite | View/Download：1143/186 | Submit date：2009/06/11 |
| 磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-03-16, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 陈诺夫; 杨霏; 尹志岗; 柴春林; 吴金良
Adobe PDF(238Kb) | Favorite | View/Download：1180/152 | Submit date：2009/06/11 |
| 磁控溅射靶的制造方法及该方法使用的模具 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors: 尹志岗; 杨霏; 陈诺夫; 吴金良; 柴春林
Adobe PDF(389Kb) | Favorite | View/Download：1111/181 | Submit date：2009/06/11 |
