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微纳谐振器表征系统研制及射频谐振器的制作与表征 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  刘云飞
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薄场铝栅CMOS技术-器件电参数分析及大生产的工艺控制 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 1988
Authors:  刘云
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