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具有亚波长光栅结构的面入射硅基锗光电探测器及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  刘智;  成步文;  何超;  李传波;  薛春来;  王启明
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硅基宽光谱探测器及制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-12
发明人:  刘智;  成步文;  何超;  李传波;  薛春来;  王启明
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