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射频微机电(RF MEMS)滤波器的关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2013
作者:  韩国威
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Lan, Yu-Wei;  Zhou, Li-Ya;  Tong, Zhang-Fa;  Pang, Qi;  Leng, Li-Min;  Han, Jian-Peng;  Wang, Fan;  Zhou, L.-Y.(zhouliyatf@163.com)
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利用磁控溅射在石墨衬底上生长多晶硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910242346.1, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  施辉伟;  陈诺夫;  黄添懋;  尹志岗;  吴金良;  张汉
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