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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
作者:  梅书哲
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Mocvd  感应加热  温度均匀性  流场温场  建模仿真  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  左然;  张红;  刘祥林
Adobe PDF(620Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：746/312  |  提交时间：2010/11/23