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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Geng ZX;  Liu W;  Wang XD;  Yang FH;  Yang, FH (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Engn Res Ctr Semicond Integrated Technol, Beijing 100083, Peoples R China, fhyang@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Li, Y.Q.;  Wang, X.D.;  Xu, X.N.;  Liu, W.;  Yang, F.H.;  Zeng, Y.P.;  Wang, X.D.(xdwang@semi.ac.cn)
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