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中国科学院半导体研究所机构知识库
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金属有机物化学气相沉积装置
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-24, 2010-08-12
发明人:
段瑞飞
;
王军喜
;
王国宏
;
曾一平
;
李晋闽
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Wei TB (Wei T. B.)
;
Hu Q (Hu Q.)
;
Duan RF (Duan R. F.)
;
Wei XC (Wei X. C.)
;
Yang JK (Yang J. K.)
;
Wang JX (Wang J. X.)
;
Zeng YP (Zeng Y. P.)
;
Wang GH (Wang G. H.)
;
Li JM (Li J. M.)
;
Wei, TB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Semicond Lighting Technol Res & Dev Ctr, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: tbwei@semi.ac.cn
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提交时间:2010/06/18
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Wei TB (Wei Tongbo)
;
Wang JX (Wang Junxi)
;
Liu NX (Liu Naixin)
;
Lu HX (Lu Hongxi)
;
Zeng YP (Zeng Yiping)
;
Wang GH (Wang Guohong)
;
Li JM (Li Jinmin)
;
Wei, TB, Chinese AcadSci, InstSemicond, Semicond Lighting Technol Res &DevCtr, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: tbwei@semi.ac.cn
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提交时间:2010/11/14
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Tang GH (Tang Guang-Hua)
;
Xu B (Xu Bo)
;
Jiang
;
LW (Jiang Li-Wen)
;
Kong JX (Kong Jin-Xia)
;
Kong
;
N (Kong Ning)
;
Liang DC (Liang De-Chun)
;
Liang P (Liang Ping)
;
Ye XL (Ye Xiao-Ling)
;
Jin P (Jin Peng)
;
Liu FQ (Liu Feng-Qi)
;
Chen YH (Chen Yong-Hai)
;
Wang ZG (Wang Zhan-Guo)
;
Tang, GH, Chinese Acad Sci, Key Lab Semicond Mat Sci, Inst Semicond, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: tghsugar@semi.ac.cn
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提交时间:2010/04/28
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Jia CH
;
Chen YH
;
Zhou XL
;
Liu GH
;
Guo Y
;
Liu XL
;
Yang SY
;
Wang ZG
;
Chen, YH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail Address: yhchen@red.semi.ac.cn
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提交时间:2010/04/13
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期刊论文
作者:
杨广华
;
毛陆虹
;
黄春红
;
王伟
;
郭维廉
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提交时间:2011/08/16
无权访问的条目
期刊论文
作者:
杨广华
;
毛陆虹
;
黄春红
;
王伟
;
郭维廉
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提交时间:2011/08/16