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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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发表日期:2002
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采用TEOS源PECVD生长氧化硅厚膜的方法
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2002-03-27, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
雷红兵
;
王红杰
;
胡雄伟
;
邓晓清
;
王启明
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提交时间:2009/06/11
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期刊论文
作者:
张小峰
;
余金中
;
王启明
;
魏红振
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
陈长勇
;
陈维德
;
王永谦
;
宋淑芳
;
许振嘉
;
郭少令
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
王文青
;
宋淑芳
;
艾家和
;
韩晓英
;
赵金茹
;
许宏飞
;
史利军
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
邓晓清
;
杨沁清
;
王红杰
;
胡雄伟
;
王启明
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提交时间:2010/11/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
余金中
;
王杏华
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
邢藏菊
;
曲延锋
;
徐健
;
王守觉
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期刊论文
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提交时间:2010/11/23
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期刊论文
作者:
邓晓清
;
杨沁清
;
王红杰
;
胡雄伟
;
王启明
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提交时间:2010/11/23
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提交时间:2010/11/23