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中国科学院半导体研究所机构知识库
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期刊论文
作者:
Gu JH (Gu Jinhua)
;
Zhu MF (Zhu Meifang)
;
Wang LJ (Wang Liujiu)
;
Liu FZ (Liu Fengzhen)
;
Zhou BQ (Zhou Bingqing)
;
Ding K (Ding Kun)
;
Li GH (Li Guohua)
;
Zhu, MF, Chinese Acad Sci, Grad Sch, Coll Phys Sci, POB 4588, Beijing 100049, Peoples R China. E-mail: mfzhu@gucas.ac.cn
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提交时间:2010/04/11
High quality microcrystalline Si films by hydrogen dilution profile
会议论文
THIN SOLID FILMS, BRATISLAVA, SLOVAKIA, SEP 15-20, 2002
作者:
Gu, JH (Gu, Jinhua)
;
Zhu, MF (Zhu, Meifang)
;
Wang, LJ (Wang, Liujiu)
;
Liu, FZ (Liu, Fengzhen)
;
Zhou, BQ (Zhou, Bingqing)
;
Ding, K (Ding, Kun)
;
Li, GH (Li, Guohua)
;
Zhu, MF, Chinese Acad Sci, Grad Sch, Coll Phys Sci, POB 4588, Beijing 100049, Peoples R China. 电子邮箱地址: mfzhu@gucas.ac.cn
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提交时间:2010/03/29
Microcrystalline Si Thin Film