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无权访问的条目 学位论文
作者:  王凤翔
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无权访问的条目 学位论文
作者:  赵继聪
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氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵晖
Adobe PDF(5392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1028/46  |  提交时间：2014/06/03
参考频率源  Mems 谐振器  高阶谐振模态  振荡器  温度补偿