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中国科学院半导体研究所机构知识库
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硅微机械陀螺仪的稳定性研究
学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
刘楠
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提交时间:2018/06/15
Mems 陀螺仪
稳定性
介质电荷
温度补偿
用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器
学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2014
作者:
赵晖
Adobe PDF(5392Kb)
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提交时间:2014/06/03
参考频率源
Mems 谐振器
高阶谐振模态
振荡器
温度补偿