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无权访问的条目 期刊论文
作者:  任丙彦;  刘晓平;  许颖;  王敏花;  廖显伯
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Y (Xu Ying);  Liao, XB (Liao Xianbo);  Diao, HW (Diao Hongwei);  Li, XD (Li Xudong);  Zeng, XB (Zeng Xiangbo);  Liu, XP (Liu Xiaoping);  Wang, MH (Wang Minhua);  Wang, WJ (Wang Wenjing);  Xu, Y, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Lab Surface Phys, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: yingxu@red.semi.ac.cn
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一种离子轰击减薄装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 1988-12-28, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王凤莲;  褚一鸣;  陆珉华
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