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多轴高性能MEMS加速度计的关键制备技术研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2024
作者:  魏振宇
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Zhao, Yongmei;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Wei, Zhenyu;   Guo, Zhiyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Si, Chaowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2022/07/26
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xu, Pengfei;   Si, Chaowei;   He, Yurong;   Wei, Zhenyu;   Jia, Lu;   Han, Guowei;   Ning, Jin;   Yang, Fuhua
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