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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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中国科学院半导体研究... [1]
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期刊论文 [1]
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1999 [1]
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出处
真空科学与技术学报 [1]
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CSCD [1]
资助机构
教育部博士点基金,国... [1]
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期刊论文
作者:
张仕国
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樊瑞新
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袁骏
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陈伟
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提交时间：2010/11/23
