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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: 闫果果; 孙国胜; 吴海雷; 王雷; 赵万顺; 刘兴昉; 董林; 郑柳; 曾一平 Adobe PDF(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1591/433  |  提交时间:2012/07/16 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033960.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1432/177  |  提交时间:2011/08/31 |
| 集成傅里叶变换红外原位监测系统的原子层沉积装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102492939A, 公开日期: 2012-08-29, 2012-08-29, 2012-08-29 发明人: 张峰; 孙国胜; 王雷; 赵万顺; 刘兴昉; 闫果果; 曾一平 Adobe PDF(523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1372/230  |  提交时间:2012/08/29 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033965.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 殷海波; 王晓亮; 胡国新; 冉军学; 肖红领; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1571/239  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种碳化硅同质PIN微结构材料及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN200910237845.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 孙国胜; 刘兴昉; 王雷; 赵万顺; 杨挺; 吴海雷; 闫果果; 曾一平; 李晋闽 Adobe PDF(406Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1888/292  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气路装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033967.1, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1519/254  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的加热装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033964.8, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 胡国新; 王晓亮; 冉军学; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1509/258  |  提交时间:2011/08/31 |
| 用于金属有机物化学沉积设备的气体分配装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033962.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 王晓亮; 冉军学; 胡国新; 肖红领; 张露; 殷海波; 李晋闽 Adobe PDF(341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1651/273  |  提交时间:2011/08/31 |
| 金属有机物化学沉积设备的反应室 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010033963.3, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 冉军学; 王晓亮; 胡国新; 肖红领; 殷海波; 张露; 李晋闽 Adobe PDF(427Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1570/260  |  提交时间:2011/08/31 |
| 连续型HTCVD法碳化硅晶体生长装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102304763A, 公开日期: 2012-08-29, 2012-08-29, 2012-08-29 发明人: 刘兴昉; 郑柳; 董林; 闫果果; 王雷; 赵万顺; 孙国胜; 曾一平; 李晋闽 Adobe PDF(575Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2689/485  |  提交时间:2012/08/29 |