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一种生长二氧化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-07-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  王晓东;  季安;  邢波;  杨富华
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Low Temperature Deposited Nano-structured Vanadium Oxide Thin Films for Uncooled Infrared Detectors 会议论文
2008 2ND IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE, Shanghai, PEOPLES R CHINA, MAR 24-27, 2008
作者:  Li GK;  Wang XD;  Liang JR;  Ji A;  Hu M;  Yang F;  Liu J;  Wu NJ;  Chen HD;  Li, GK, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Natl Lab Superlattices & Microstruct, Beijing 100083, Peoples R China.
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Fabrication of Nano-structured VOx Film by Low Temperature Ion Beam Sputtering and Reductive Annealing 会议论文
2008 2ND IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE, Shanghai, PEOPLES R CHINA, MAR 24-27, 2008
作者:  Wang XD;  Li GK;  Liang JR;  Ji A;  Hu M;  Yang FH;  Liu J;  Wu NJ;  Chen HD;  Wang, XD, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Engn Res Ctr Semicond Integrated Technol, Beijing 100083, Peoples R China.
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V2o5 Thin-films  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, XY;  Xie, CS;  Ji, A;  Tang, Q;  Luo, W;  Zhang, XY, Huazhong Univ Sci & Technol, State Key Lab Multispectral Informat Proc Technol, Wuhan 430074, Hubei Province, Peoples R China. 电子邮箱地址: x_yzhang@yahoo.com.cn
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