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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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研究单元&专题
中国科学院半导体研... [13]
作者
赵冀 [4]
谭平恒 [2]
甘华东 [2]
朱汇 [2]
刘宇 [1]
文献类型
期刊论文 [8]
专利 [5]
发表日期
2007 [13]
语种
中文 [10]
英语 [3]
出处
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共13条,第1-10条
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发表日期:2007
专题:中国科学院半导体研究所(2009年前)
第一作者的第一单位
第一作者单位
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80
85
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95
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
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变温显微磁光光谱系统
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-24, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
谭平恒
;
郑厚植
;
李桂荣
;
章昊
;
姬杨
;
甘华东
;
朱汇
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浏览/下载:1123/173
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提交时间:2009/06/11
半导体晶片精密化学机械抛光剂
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-03, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
朱蓉辉
;
惠峰
;
卜俊鹏
;
郑红军
;
赵冀
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浏览/下载:1476/216
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提交时间:2009/06/11
双面抛光机
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-09-19, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
朱蓉辉
;
赵冀
;
惠峰
;
卜俊鹏
;
郑红军
Adobe PDF(324Kb)
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浏览/下载:1474/189
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提交时间:2009/06/11
可以修整抛光晶片平整度的抛光头
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-09-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
朱蓉辉
;
惠峰
;
卜俊峰
;
郑红军
;
赵冀
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浏览/下载:1399/183
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提交时间:2009/06/11
扩散型兆声波清洗槽
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-09-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
朱蓉辉
;
惠峰
;
卜俊鹏
;
郑红军
;
赵冀
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浏览/下载:1487/252
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提交时间:2009/06/11
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Sun, Z (Sun, Zheng)
;
Xu, ZY (Xu, Z. Y.)
;
Ji, Y (Ji, Yang)
;
Sun, BQ (Sun, B. Q.)
;
Wang, BR (Wang, B. R.)
;
Huang, SS (Huang, S. S.)
;
Ni, HQ (Ni, H. Q.)
;
Sun, Z, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: zyxu@red.semi.ac.cn
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浏览/下载:1063/352
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提交时间:2010/03/29
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Gan HD
;
Zheng HZ
;
Deng JJ
;
Bi JF
;
Zhu H
;
Ji Y
;
Tan PH
;
Yang FH
;
Zhao JH
;
Gan, HD, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: hdgan@red.semi.ac.cn
;
hzzheng@red.semi.ac.cn
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浏览/下载:1315/395
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提交时间:2010/03/29
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Sun, Z (Sun, Z.)
;
Yang, XD (Yang, X. D.)
;
Sun, BQ (Sun, B. Q.)
;
Ji, Y (Ji, Y.)
;
Zhang, SY (Zhang, S. Y.)
;
Ni, HQ (Ni, H. Q.)
;
Niu, ZC (Niu, Z. C.)
;
Xu, ZY (Xu, Z. Y.)
;
Sun, Z, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlatt & Microstruct, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: sz3288@red.semi.ac.cn
;
ji_ym@mail.sic.ac.cn
;
zyxu@red.semi.ac.cn
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浏览/下载:1054/299
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提交时间:2010/03/29
无权访问的条目
期刊论文
作者:
王勇刚
;
彭继迎
;
檀慧明
;
钱龙生
;
柴路
;
张志刚
;
王清月
;
林涛
;
马骁宇
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浏览/下载:881/269
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提交时间:2010/11/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
王欣
;
温继敏
;
黄亨沛
;
袁海庆
;
谢亮
;
祝宁华
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浏览/下载:1182/348
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提交时间:2010/11/23