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STUDY OF MICROSTRUCTURE AND DEFECTS IN HYDROGENATED MICROCRYSTALLINE SILICON FILMS 会议论文
, Philadelphia, PA, 2009
作者:  Peng WB (Peng Wenbo);  Zeng XB (Zeng Xiangbo);  Liu SY (Liu Shiyong);  Xiao HB (Xiao Haibo);  Kong GL (Kong Guanglin);  Yu YD (Yu Yude);  Liao XB (Liao Xianbo)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Peng WB;  Liu SY;  Xiao HB;  Zhang CS;  Shi MJ;  Zeng XB;  Xu YY;  Kong GL;  Yu YD;  Zeng XB Chinese Acad Sci Inst Semicond Key Lab Semicond Mat Sci Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: xbzeng@semi.ac.cn;  yyxu@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  沈海波;  郭亨群;  王国立;  王加贤;  吴志军;  宋江婷;  徐骏;  陈坤基;  王启明
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Shi Mingji;  Wang Zhanguo;  Liu Shiyong;  Peng Wenbo;  Xiao Haibo;  Zhang Changsha;  Zeng Xiangbo
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  杨淑英;  安俊明;  李俊一
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhao DG;  Jiang DS;  Zhu JJ;  Liu ZS;  Wang H;  Zhang SM;  Wang YT;  Yang H;  Zhao DG Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect POB 912 Beijing 100083 Peoples R China. E-mail Address: dgzhao@red.semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Kazanskii, AG;  Kong, GL;  Zeng, XB;  Hao, HY;  Liu, FZ;  Kazanskii, AG, Moscow MV Lomonosov State Univ, Dept Phys, Moscow 119991, Russia. 电子邮箱地址: kazanski@phys.msu.ru
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yang, JL;  Gaspar, J;  Paul, O;  Yang, JL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: paul@imtek.de
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In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator 会议论文
2008 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED-CIRCUIT TECHNOLOGY, Beijing, PEOPLES R CHINA, OCT 20-23, 2008
作者:  Liu, YF;  Xie, J;  Yang, JL;  Tang, LJ;  Yang, FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China.
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Films  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Shi Huiling;  Ma Xiaoyu;  Hu Like;  Chong Feng
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