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降低立方氮化硼薄膜应力的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-03-17, 2010-08-12
发明人:  范亚明;  张兴旺;  谭海仁;  陈诺夫
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  张兴旺;  陈诺夫;  Boyen H-G;  Ziemann P
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  杨霏;  陈诺夫;  张兴旺;  杨少延;  刘志凯;  柴春林;  侯哲哲;  马辉;  尹志刚
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一种制备n型掺杂的立方氮化硼薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910237087.3, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  应杰;  张兴旺;  范亚明
Adobe PDF(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1412/218  |  提交时间：2011/08/31