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基于高温退火AlN模板的深紫外激光二极管MOVPE生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  王大地
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无权访问的条目 学位论文
作者:  冯梁森
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无权访问的条目 学位论文
作者:  陆兴东
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无权访问的条目 学位论文
作者:  朱石超
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Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张硕
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Aln  溅射法  Si（100）衬底  氧污染  椭偏测量