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无权访问的条目 学位论文
作者:  冯梁森
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氮化铝谐振式压电MEMS 加速度计研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者:  杨健
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Weijiang Li;   Xiang Zhang ;   Ruilin Meng ;   Jianchang Yan ;   Junxi Wang ;   Jinmin Li;   Tongbo Wei
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Chen Lin ;   Teng Zhan ;   Zhiqiang Liu;   Xiaoyan Yi;   Hongyun Xie;   Junxi Wang;   Jinmin Li
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