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中国科学院半导体研究所机构知识库
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Photoluminescence of nanocrystalline SiC films prepared by rf magnetron sputtering
会议论文
CHINESE PHYSICS, 10, BEIJING, PEOPLES R CHINA, OCT 30-NOV 02, 2000
作者:
Liu JW
;
Xie FQ
;
Zhong DY
;
Wang EG
;
Liu WX
;
Li SF
;
Yang H
;
Liu JW Chinese Acad Sci Inst Phys State Key Lab Surface Phys POB 603 Beijing 100080 Peoples R China.
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提交时间:2010/11/15
Luminescence
Sic
Nanocrystalline Film
Rf Sputtering
Raman-scattering
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
会议论文
THIN SOLID FILMS, 395 (1-2), KANAZAWA, JAPAN, NOV 14-17, 2000
作者:
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
;
Zhu M Chinese Acad Sci Grad Sch Dept Phys POB 3908 Beijing 100039 Peoples R China.
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浏览/下载:1366/315
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提交时间:2010/11/15
Poly-si
Structure
Hot-wire
Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)
Chemical-vapor-deposition
Microcrystalline Silicon
Hydrogen
Homoepitaxial growth and device characteristics of SiC on Si-face (0001) 6H-SiC
会议论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 227, BEIJING, PEOPLES R CHINA, SEP 11-15, 2000
作者:
Li JM
;
Sun GS
;
Zhu SR
;
Wang L
;
Luo MC
;
Zhang FF
;
Lin LY
;
Sun GS Chinese Acad Sci Inst Semicond Beijing 100083 Peoples R China.
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提交时间:2010/11/15
X-ray Diffraction
Molecular Beam Epitaxy
Semiconducting Silicon Compounds
Low-temperature Growth
Films
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Liu JW
;
Xie FQ
;
Zhong DY
;
Wang EG
;
Liu WX
;
Li SF
;
Yang H
;
Liu JW,Chinese Acad Sci,Inst Phys,State Key Lab Surface Phys,POB 603,Beijing 100080,Peoples R China.
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Gao F
;
Huang CJ
;
Huang DD
;
Li JP
;
Kong MY
;
Zeng YP
;
Li JM
;
Lin LY
;
Gao F,Shaanxi Normal Univ,Dept Phys,Xian 710062,Peoples R China.
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浏览/下载:1039/241
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
;
Zhu M,Chinese Acad Sci,Grad Sch,Dept Phys,POB 3908,Beijing 100039,Peoples R China.
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yang RX
;
Zhang FQ
;
Chen NF
;
Yang RX,Hebei Univ Technol,Tianjin 300130,Peoples R China.
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浏览/下载:991/200
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Wang YQ
;
Chen CY
;
Chen WD
;
Yang FH
;
Diao HW
;
Wang YQ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,State Key Lab Surface Phys,Beijing 100083,Peoples R China.
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浏览/下载:903/269
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Gao F
;
Huang DD
;
Li JP
;
Kong MY
;
Sun DZ
;
Li JM
;
Zeng YP
;
Lin LY
;
Gao F,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Ctr Mat Sci,POB 912,Beijing 100083,Peoples R China.
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浏览/下载:1107/317
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提交时间:2010/08/12
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Sheng SR
;
Liao XB
;
Kong GL
;
Sheng SR,Natl Res Council Canada,Inst Microstruct Sci,Ottawa,ON K1A 0R6,Canada.
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浏览/下载:894/259
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提交时间:2010/08/12