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Fracture properties of PECVD silicon nitride thin films by long rectangular memrane bulge test 会议论文
2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, Sanya, PEOPLES R CHINA, JAN 06-09, 2008
作者:  Zhou, W;  Yang, JL;  Li, Y;  Yang, FH;  Yang, JL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
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Bulge Test  Fracture Property  Silicon Nitride  Weibull Distribution Function  
Accurate vibration detection of a rough surface - art. no. 683118 会议论文
NANOPHOTONICS,NANOSTRUCTURE,AND NANOMETROLOGY II, Beijing, PEOPLES R CHINA, NOV 12-14, 2007
作者:  Zeng, HL;  Zhou, Y;  Fan, ST;  He, J;  Zeng, HL, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100864, Peoples R China.
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Measurement Of Microvibration  Nanometrology  Interferometry  Vibration Detection  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou, Y;  Zhang, GF;  Zhou, Y, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlattices & Microstruct, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: gf1978zhang@buaa.edu.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou, Y;  Zhang, GF;  Zhang, GF, Beijing Univ Aeronaut & Astronaut, Dept Phys, Sch Sci, Xueyuan Rd 37, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: gf1978zhang@sohu.com
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhou, R;  Sun, BQ;  Ruan, XZ;  Luo, HH;  Ji, Y;  Wang, WZ;  Zhang, F;  Zhao, JH;  Zhou, R, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, SKLSM, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: zhourong05@semi.ac.cn;  bqsun@red.semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  商丽燕;  林铁;  周文政;  黄志明;  李东临;  高宏玲;  崔利杰;  曾一平;  郭少令;  褚君浩
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