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中国科学院半导体研究所 149 中科院半导体材料科学重点实验室 81 中国科学院半导体研究所（2009年前） 59
纳米光电子实验室 4 光电系统实验室 3 半导体超晶格国家重点实验室 1
集成光电子学国家重点实验室 1