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中国科学院半导体研究所 63 中国科学院半导体研究所(2009年前) 13 半导体超晶格国家重点实验室 13
中科院半导体照明研发中心 12 中科院半导体材料科学重点实验室 11 光电子研究发展中心 5
半导体集成技术工程研究中心 3 固态光电信息技术实验室 3 集成光电子学国家重点实验室 2
光电系统实验室 1