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中国科学院半导体研究所 21 中国科学院半导体研究所(2009年前) 5 集成光电子学国家重点实验室 5
光电子研究发展中心 4 光电系统实验室 4 半导体集成技术工程研究中心 2
全固态光源实验室 1