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中国科学院半导体研究所 172 中国科学院半导体研究所(2009年前) 94 中科院半导体材料科学重点实验室 32
半导体超晶格国家重点实验室 13 光电子研究发展中心 10 半导体集成技术工程研究中心 8
半导体材料科学中心 6 集成光电子学国家重点实验室 3 纳米光电子实验室 2
全固态光源实验室 2 固态光电信息技术实验室 2