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中国科学院半导体研究所 162 中国科学院半导体研究所（2009年前） 53 半导体超晶格国家重点实验室 41
中科院半导体材料科学重点实验室 19 半导体集成技术工程研究中心 12 集成光电子学国家重点实验室 11
光电子研究发展中心 9 高速电路与神经网络实验室 4 全固态光源实验室 3
中科院半导体照明研发中心 2 纳米光电子实验室 2 半导体人工神经网络实验室 2
高性能集成电路实验室 2 固态光电信息技术实验室 2