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中国科学院半导体研究所 29 中国科学院半导体研究所（2009年前） 10 半导体超晶格国家重点实验室 9
中科院半导体照明研发中心 4 集成光电子学国家重点实验室 2 中科院半导体材料科学重点实验室 2
半导体集成技术工程研究中心 2