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中国科学院半导体研究所 187 中国科学院半导体研究所(2009年前) 156 集成光电子学国家重点实验室 9
光电子研究发展中心 9 中科院半导体材料科学重点实验室 7 光电系统实验室 3
科半公司 2 半导体超晶格国家重点实验室 1