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中国科学院半导体研究所 942 半导体超晶格国家重点实验室 296 中科院半导体材料科学重点实验室 166
中国科学院半导体研究所（2009年前） 158 光电子研究发展中心 124 半导体集成技术工程研究中心 56
中科院半导体照明研发中心 40 纳米光电子实验室 30 北京纳米能源与系统研究所 27
集成光电子学国家重点实验室 16 全固态光源实验室 10 固态光电信息技术实验室 9
光电子器件国家工程中心 5 光电系统实验室 3 半导体材料科学中心 2