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中国科学院半导体研究所 433 中国科学院半导体研究所（2009年前） 189 中科院半导体材料科学重点实验室 72
半导体超晶格国家重点实验室 60 光电子研究发展中心 39 纳米光电子实验室 21
集成光电子学国家重点实验室 20 半导体集成技术工程研究中心 7 光电系统实验室 7
高速电路与神经网络实验室 7 中科院半导体照明研发中心 6 半导体材料科学中心 3
光电子器件国家工程中心 1 全固态光源实验室 1