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中国科学院半导体研究所 90 中国科学院半导体研究所(2009年前) 23 半导体集成技术工程研究中心 15
纳米光电子实验室 14 集成光电子学国家重点实验室 10 光电系统实验室 8
中科院半导体照明研发中心 7 光电子研究发展中心 6 中科院半导体材料科学重点实验室 6
固态光电信息技术实验室 1