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中国科学院半导体研究所 75 中国科学院半导体研究所（2009年前） 27 半导体超晶格国家重点实验室 23
光电子研究发展中心 12 集成光电子学国家重点实验室 6 中科院半导体材料科学重点实验室 4
半导体材料科学中心 2 全固态光源实验室 1