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中国科学院半导体研究所 333 中国科学院半导体研究所(2009年前) 166 半导体超晶格国家重点实验室 39
集成光电子学国家重点实验室 33 光电子研究发展中心 27 中科院半导体材料科学重点实验室 25
纳米光电子实验室 14 光电系统实验室 11 半导体集成技术工程研究中心 10
中科院半导体照明研发中心 4 全固态光源实验室 3 高速电路与神经网络实验室 1