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中国科学院半导体研究所 61 中国科学院半导体研究所（2009年前） 41 光电子研究发展中心 8
光电子器件国家工程中心 5 集成光电子学国家重点实验室 3 半导体集成技术工程研究中心 3
半导体材料科学中心 1